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English華進可靠性與失效分析檢測中心新增熱點檢測服務
2019/02/20
檢測千萬條 結論第一條 分析不靠譜 客戶兩行淚
近日，華進可靠性與失效分析檢測中心向新加坡國立大學附屬SEMICAPS 公司購買了一套Semicaps-SOM1100熱點檢測設備，可用于偵測各種組件缺陷所產生的漏電流，包括閘極氧化層缺陷(Gate oxide defects)、靜電放電破壞(ESD Failure)、閂鎖效應(Latch Up)、漏電(Leakage)、接面漏電(Junction Leakage) 、順向偏壓(Forward Bias)等，通過定位熱點位置，分析缺陷原因并幫助后續改善。
Semicaps-SOM1100熱點檢測設備
減薄前晶圓背面圖像vs 減薄后晶圓背面圖像
● 什么是PEM？
光發射顯微鏡PEM (Photon Emission Microscopy),PEM配備了探測波長范圍900~1600nm的InGaAs探測器，可偵測組件中電子－空穴再結合和場加速載流子輻射所產生的光波。隨著電壓和漏電流的降低，集成電路的缺陷點主要輻射近紅外光。因此，較高探測效率且探測波長集中于近紅外光的InGaAs 探測器顯得更為重要。
激光激發-熱感生電壓變化TIVA（Thermal Induced Voltage Alteration）,TIVA配置1340nm激光源及Laser Pulsing技術，通過外部激勵產生信號，按逐個像素點對集成電路進行加熱，熱量改變漏電回路缺陷位置的電阻特性，進而探測到漏電回路或漏電點。
光發射顯微鏡PEM (Photon Emission Microscopy),PEM配備了探測波長范圍900~1600nm的InGaAs探測器，可偵測組件中電子－空穴再結合和場加速載流子輻射所產生的光波。隨著電壓和漏電流的降低，集成電路的缺陷點主要輻射近紅外光。因此，較高探測效率且探測波長集中于近紅外光的InGaAs 探測器顯得更為重要。
不同探測器的接收波長對比
● 什么是TIVA？激光激發-熱感生電壓變化TIVA（Thermal Induced Voltage Alteration）,TIVA配置1340nm激光源及Laser Pulsing技術，通過外部激勵產生信號，按逐個像素點對集成電路進行加熱，熱量改變漏電回路缺陷位置的電阻特性，進而探測到漏電回路或漏電點。
SOM1100關鍵性能指標還包括：
● PEM InGaAs探測器 & TIVA 1340nm激光源；
● 12inch測試載樣臺及測試暗箱；
● 顯微鏡系統配置：Macro Lens 0.8x for PEM；Lens NIR 2.5x/5x/10x/20x for PEM and TIVA；High NA Lens NIR 50x for PEM and TIVA；
● TIVA Laser Pulsing Technique；
● Laser Marker定位模塊；
● 軟件具備量測定位網格線、特征點距離量測等輔助功能。
目前，華進半導體檢測中心已經開始承接熱點檢測業務，歡迎新老客戶前來咨詢，咨詢電話：187 5156 0846，咨詢郵箱：xinyang@ncap-cn.com。
檢測中心簡介：
華進半導體可靠性與失效分析檢測中心，于2015年5月正式成立，坐落于無錫菱湖大道200號中國傳感網國際創新園D1棟，是配套江蘇省唯一一家省封裝產業研究院設立的檢測中心，現已取得了ISO9001及CNAS認證，和國內外眾多產、學、研組織建立了緊密的合作關系，可以對外提供高效便捷的檢測服務。目前服務國內近300家客戶，將努力為國內半導體行業的失效分析/可靠性/材料測試做出******貢獻。
● PEM InGaAs探測器 & TIVA 1340nm激光源；
● 12inch測試載樣臺及測試暗箱；
● 顯微鏡系統配置：Macro Lens 0.8x for PEM；Lens NIR 2.5x/5x/10x/20x for PEM and TIVA；High NA Lens NIR 50x for PEM and TIVA；
● TIVA Laser Pulsing Technique；
● Laser Marker定位模塊；
● 軟件具備量測定位網格線、特征點距離量測等輔助功能。
目前，華進半導體檢測中心已經開始承接熱點檢測業務，歡迎新老客戶前來咨詢，咨詢電話：187 5156 0846，咨詢郵箱：xinyang@ncap-cn.com。
檢測中心簡介：
華進半導體可靠性與失效分析檢測中心，于2015年5月正式成立，坐落于無錫菱湖大道200號中國傳感網國際創新園D1棟，是配套江蘇省唯一一家省封裝產業研究院設立的檢測中心，現已取得了ISO9001及CNAS認證，和國內外眾多產、學、研組織建立了緊密的合作關系，可以對外提供高效便捷的檢測服務。目前服務國內近300家客戶，將努力為國內半導體行業的失效分析/可靠性/材料測試做出******貢獻。
蘇公網安備 32021402001899號